特許
J-GLOBAL ID：200903061355101457
圧力スイッチ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-040313
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249729
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 圧力スイッチのON時の電気抵抗を低下させる事。【構成】 ガラス基板7と単結晶シリコン6を接合させる事によって形成した圧力基準室10に、外部からの電気的信号を伝達させるため、熱拡散法によってN+ 不純物拡散層2を単結晶シリコン6の一方の全面に形成し、当該N+ 不純物拡散層をイオン注入法によるP+ 不純物拡散層1で区画分けした事で、電気的信号の導通路を形成した構造と、前記の電気的信号の導通路上に金属薄膜を形成した構造を得る圧力スイッチ。
請求項（抜粋）：
一方の面に圧力を受感するダイヤフラムを形成し、前記ダイヤフラムとの対向裏面に圧力基準室を形成すると共に、前記圧力基準室側全面にP+ 拡散層で区画分けしたN+ 熱拡散層を形成し、該N+ 熱拡散層により前記圧力基準室外に設けたアルミパッドとの電気的導通路を形成し、さらに前記圧力基準室内のN+ 熱拡散層上に金属接点を形成した単結晶シリコン基板と、一方の面に金属薄膜を形成したガラス基板とからなり、前記金属接点を前記ガラス基板側の金属薄膜と対向させて単結晶シリコンとガラス基板とを気密接合させて形成される圧力スイッチにおいて、前記単結晶シリコン基板の電気的導通路上にアルミ等の金属薄膜をアイランド状に成膜したことを特徴とする圧力スイッチ。
IPC (3件)：
G01L 9/00
, H01H 35/34
, H01L 29/84
