アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査装置および検査装置用電気光学素子

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-242398
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256794
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】液晶パネル組立前に当該基板における欠陥画素を迅速かつ定量的に把握する。【構成】本発明は、基板上に形成された複数のゲート配線と複数のソース配線と複数の画素電極とを有する薄膜トランジスタを具備する液晶ディスプレイ基板の検査装置に関するものである。本発明の検査装置は、アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の上部に微小間隔をおいて対向配置され、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子と、この電気光学素子に光を照射する光源と、上記電気光学素子に照射されて電気光学素子から出された光を捕らえる受光器と、上記アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板上の画素電極と前記電気光学素子との間に電圧を印加する電源と、前記受光器が捕らえた光の変化を測定する計測手段とを有することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された複数のゲート配線と複数のソース配線と複数の画素電極とを具備してなる薄膜トランジスタを有する液晶ディスプレイ基板を検査する装置において、前記アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の上部に微小間隔をおいて対向配置され、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子と、前記電気光学素子に光を照射する光源と、前記電気光学素子に照射されて電気光学素子から出された光を捕らえる受光器と、前記アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板上の画素電極と前記電気光学素子との間に電圧を印加する電源と、前記受光器が捕らえた光の変化を測定する計測手段を具備してなることを特徴とするアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01M 11/00 , G01R 31/00

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-142498
特開平1-229232
特開平2-085822

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審査官引用 (8件)

特開平3-142498
特開平3-142498
特開平1-229232

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