特許
J-GLOBAL ID：200903061361551197
発光素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104468
公開番号（公開出願番号）：特開平7-288339
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 発光面内で発光の均一性が良くかつ、発光強度を強めることのできる発光素子を提供する。【構成】 シリコン基板を陽極電解研磨することにより、鏡面構造を持つ発光性電解研磨シリコン13を作製し、その上にμc-SiC14を堆積させ、発光性電解研磨シリコン13とμc-SiC14の間にpn接合を形成する。発光性電解研磨シリコン13とμc-SiC14のpn接合面は均一性が良好なため、接合面全体に均一に発光する発光素子を作製することが可能になる。
請求項（抜粋）：
鏡面構造を持つ発光性電解研磨シリコンを用いたことを特徴とする発光素子。
IPC (3件)：
H01L 33/00
, H01L 21/304 321
, H01L 21/3063
