特許

J-GLOBAL ID：200903061362702636

基板搬送装置および姿勢変換装置

発明者： 田島 尚雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-218175
公開番号（公開出願番号）：特開2003-034428
出願日： 2001年07月18日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】 ガラス基板を破損や、汚れを生じさせることなく容易に収納ケースに出し入れしたり、搬送したりできる基板搬送装置を提供する。【解決手段】 基板搬送装置30は、実質的に垂直に立てたガラス基板1の下端に当接する下保持部材12が固定されたベース板2を有している、ベース板2には、上端に取っ手5が固定されたスライド板3がベース板2に沿って上下方向にスライド可能に取り付けられている。ベース板2とスライド板3に、スライド板3がスライドするのに連動して回転軸7の周りに回転する連動板6が取り付けられており、その端部にガラス基板1の上端に当接する上部保持部10が固定されている。取っ手5を持つと、ガラス基板1は上部保持部10と下保持部材12との間に挟み込まれて垂直に立てた状態で保持される。

請求項（抜粋）：

被支持部と、垂直に立てた状態のガラス基板の下端に当接する下保持部材と、前記ガラス基板の上端に当接する上保持部材と、前記被支持部を支持した状態で、前記ガラス基板および/または前記上保持部材とそれに結合された部材の荷重を利用して前記上保持部材に下向きに力を加える加圧機構とを有する基板搬送装置。

IPC (6件)：

B65G 49/06 ,  B25J 1/00 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/08 ,  B65G 7/12 ,  H01L 21/68

FI (7件)：

B65G 49/06 A ,  B25J 1/00 ,  B25J 15/00 C ,  B25J 15/08 K ,  B65G 7/12 F ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 S

Fターム (35件)：

3C007AS01 ,  3C007AS03 ,  3C007BS29 ,  3C007CY13 ,  3C007DS02 ,  3C007ES05 ,  3C007ES09 ,  3C007ET03 ,  3C007EU07 ,  3C007EV02 ,  3C007EV05 ,  3C007EV20 ,  3C007EV22 ,  3C007EV25 ,  3C007EW20 ,  3C007HT11 ,  3C007MT01 ,  3C007NS21 ,  3C007XF06 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA19 ,  5F031FA21 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA20 ,  5F031GA32 ,  5F031GA33 ,  5F031GA60 ,  5F031GA68 ,  5F031LA11