レーザ装置およびレーザ装置の共振器長の制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-103434
公開番号（公開出願番号）：特開平11-289122
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】レーザ共振器長を高精度に制御することにより、レーザ発振周波数を所望の周波数に同調させて単一周波数で狭帯域化されたレーザ発振を行う。【解決手段】レーザ装置本体(11)の発振周波数を所定の周波数に同調させて単一周波数でレーザ発振を行うレーザ装置。所定の周波数を有する単一周波数レーザ光をモニターレーザ光として供給し、該モニターレーザ光をレーザ共振器に入射させるためのモニターレーザ光入射手段(12、14、15、16、18、19)と、レーザ装置本体の共振モード周波数の1つをモニターレーザ光の周波数にほぼ一致させるために、レーザ共振器から反射されたモニターレーザ光の強度変化に基づいてレーザ共振器の共振器長を制御するための制御手段(4、13、20、21)とを備えている。

請求項（抜粋）：

共振器長を可変するための可変手段を有するレーザ共振器と、前記レーザ共振器にモニター光を入射するモニター光入射手段と、前記レーザ共振器から反射された前記モニター光を受光するモニター光受光部と、前記モニター光受光部から得られた信号に基づき、所望の発振状態が得られるように前記可変手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするレーザ装置。

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