特許
J-GLOBAL ID:200903061383085238

レーザ超音波材質測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢葺 知之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-081940
公開番号(公開出願番号):特開平7-286993
出願日: 1994年04月20日
公開日(公表日): 1995年10月31日
要約:
【要約】【目的】 鋼材のように表面が粗面のものにおいても、完全非接触で効率良く、かつ高精度に励起超音波を計測することを可能とし、更に、検出信号から直接に励起超音波の振幅を求めることを可能にするレーザ超音波材質測定装置を提供する。【構成】 超音波発生源として、レーザ光を用い、超音波の音速、減衰、振幅等の音波の伝播特性から材質を評価するレーザ超音波材質測定装置において、レーザ光による超音波発生器として、レーザ熱源を表面波の位相速度で走査させることで高振幅の表面波を励起させる手段を設け、あるいは2周波のレーザビームにより走査干渉縞を発生させることで、高振幅の表面波を励起させる手段を設け、励起表面波を検出する手段として、へテロダイン干渉法を用いて励起表面波を検出する手段を備えたことを特徴とするレーザ超音波材質測定装置。
請求項(抜粋):
超音波発生源として、レーザ光を用い、超音波の音速、減衰、振幅等の音波の伝播特性から材質を評価するレーザ超音波材質測定装置において、レーザ光による超音波発生器として、レーザ熱源を表面波の位相速度で走査させることで高振幅の表面波を励起させる手段を設け、あるいは2周波のレーザビームにより走査干渉縞を発生させることで、高振幅の表面波を励起させる手段を設け、励起表面波を検出する手段として、へテロダイン干渉法を用いて励起表面波を検出する手段を備えたことを特徴とするレーザ超音波材質測定装置。
IPC (2件):
G01N 29/00 501 ,  G01N 29/18

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