特許

J-GLOBAL ID：200903061387819848

レーザ加工装置

発明者： 佐藤 進司 ,  高橋 豊和
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-017123
公開番号（公開出願番号）：特開2001-209003
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】加工精度の悪化や、レンズの位置ずれによる加工位置の移動をなくすことができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ装置1から放射されるレーザ光は、平行ビーム生成光学系2により平行ビーム3となり、レンズ作用を加えたスポット形状変換素子21に達する。このスポット形状変換素子21は、光の方向を変化させ、光強度の再配分を行ない、加工面6で所定の出力強度分布となるようにする。通常のスポット形状変換素子の位相分布をA、レンズ作用の位相分布をBとすると、レンズ作用を加えたスポット形状変換素子21の位相分布Cは、「A+B」で実現される。上記スポット形状変換素子21でも、位相誤差による0次光が発生する。しかし、レンズを用いていないので、位相誤差による0次光は、加工面上でノイズ成分となるが、ピークとはならないので、加工精度を低下させることはない。

請求項（抜粋）：

レーザ光を出力するレーザ装置と、このレーザ装置から出力されるレーザ光を平行ビームとする平行ビーム生成光学系と、前記平行ビーム生成光学系により生成された平行ビームを加工面上に所定の強度で分布させるスポット形状変換作用及びレンズ作用を備えたスポット形状変換素子とを具備したことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (2件)：

G02B 27/09 ,  B23K 26/06

FI (2件)：

B23K 26/06 E ,  G02B 27/00 E

Fターム (3件)：

4E068CA01 ,  4E068CD05 ,  4E068CD08