特許

J-GLOBAL ID：200903061394959361

半面被覆粒状体の製造装置

発明者： 朝本 正路
出願人/特許権者： 株式会社ミクロンテック
代理人 (1件)： 亀井 弘勝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075847
公開番号（公開出願番号）：特開平10-265939
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】真空容器内で粒状体の略半面に被覆用物質を被覆して半面被覆粒状体の製造装置であって、コスト安価に大量生産ができること。【解決手段】無端状の搬送帯32を、粒状体が供給される供給領域P、プラズマ蒸発源36に面する被着領域Q、および被覆が完了した半面被覆粒状体を回収する回収領域Rを経由させて循環させる。搬送帯32は鉄粉等の磁性体を含有するシリコンラバーからなり、被着領域Qに対応する磁化部材37によって磁化され、被着中の粒状体を一定の姿勢で確実に保持する。

請求項（抜粋）：

表面に多数の粒状体を吸着可能なシートのロール体と、このロール体から繰り出されるシートに粒状体を供給する供給手段と、この供給手段によって供給された粒状体を吸着したシートを、被覆用物質のプラズマ蒸発源に面する被着領域を経由させて巻き取る巻き取り手段とを真空容器内に備えたことを特徴とする半面被覆粒状体の製造装置。