特許

J-GLOBAL ID：200903061395828236

半導体装置およびその製造方法

発明者： 佐久間 究 ,  土屋 義規 ,  小山 正人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 堀口 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-187037
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005721
出願日： 2005年06月27日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】 本発明は、耐熱性に優れた半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 第1の発明の半導体装置は、第1導電型の半導体層と、第1導電型の半導体層上に形成された第1のゲート絶縁膜と、第1のゲート絶縁膜上に形成され、Ruからなる第1の金属の結晶粒および第1の金属の結晶粒の粒界に偏析したW、Ni、Mo、Rh、Pd、Re、IrおよびPtからなる群から選ばれる第2の金属を有する第1のゲート電極と、第1のゲート絶縁膜をゲート長方向に挟む第1導電型の半導体層に形成された第1のソース・ドレイン領域と、を備えることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1導電型の半導体層と、 前記第1導電型の半導体層上に形成された第1のゲート絶縁膜と、 前記第1のゲート絶縁膜上に形成され、Ruからなる第1の金属の結晶粒および前記第1の金属の結晶粒の粒界に偏析したW、Ni、Mo、Rh、Pd、Re、IrおよびPtからなる群から選ばれる第2の金属を有する第1のゲート電極と、 前記第1のゲート絶縁膜をゲート長方向に挟む前記第1導電型の半導体層に形成された第1のソース・ドレイン領域と、 を備えることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49

FI (8件)：

H01L29/78 301G ,  H01L21/28 301R ,  H01L29/78 617L ,  H01L29/78 617M ,  H01L29/78 613A ,  H01L27/08 102C ,  H01L27/08 321D ,  H01L29/58 G

Fターム (118件)：

4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB18 ,  4M104BB19 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB23 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB26 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB37 ,  4M104BB39 ,  4M104CC03 ,  4M104CC05 ,  4M104DD37 ,  4M104DD45 ,  4M104DD66 ,  4M104DD79 ,  4M104DD83 ,  4M104DD84 ,  4M104EE03 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH20 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048AC04 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB10 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB13 ,  5F048BC06 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048BF17 ,  5F048BG13 ,  5F048DA23 ,  5F110AA30 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC10 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE22 ,  5F110EE29 ,  5F110EE31 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF36 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110HK05 ,  5F110HK33 ,  5F110HK40 ,  5F110NN62 ,  5F140AA00 ,  5F140AB03 ,  5F140AC01 ,  5F140AC36 ,  5F140BA01 ,  5F140BB05 ,  5F140BC06 ,  5F140BD01 ,  5F140BD04 ,  5F140BD07 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BD13 ,  5F140BE16 ,  5F140BF01 ,  5F140BF06 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF11 ,  5F140BF16 ,  5F140BF17 ,  5F140BF21 ,  5F140BF27 ,  5F140BF38 ,  5F140BF40 ,  5F140BF44 ,  5F140BG08 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG34 ,  5F140BH14 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ30 ,  5F140BK29 ,  5F140BK34 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04