特許

J-GLOBAL ID：200903061411372809

電力制御方法及びその装置

発明者： 小林 健 ,  吉野 孔 ,  石渡 章浩
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  理化工業株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-076498
公開番号（公開出願番号）：特開平11-262174
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 電力供給を時分割で制御することによりフルパワー時の使用電力量を抑制して、その分、設備の小容量化を達成することができる電力制御方法を提供する。【解決手段】 1つの電源から供給される電力を、加熱を目的とする複数の電力使用系14A〜14Cに供給するための電力制御方法において、前記複数の電力使用系を、時分割でオンオフ制御する。このように、電力供給を時分割で制御することによりフルパワー時の使用電力量を抑制して、その分、設備の小容量化を達成する。

請求項（抜粋）：

1つの電源から供給される電力を、加熱を目的とする複数の電力使用系に供給するための電力制御方法において、前記複数の電力使用系を、時分割でオンオフ制御するようにしたことを特徴とする電力制御方法。

IPC (3件)：

H02J 3/00 ,  G05F 1/00 ,  G05F 1/66

FI (3件)：

H02J 3/00 B ,  G05F 1/00 F ,  G05F 1/66 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-113733
  
• 特開昭59-123424