特許
J-GLOBAL ID：200903061420473545
基板搬送装置および基板搬送装置における位置ずれ修正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-309141
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148398
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 基板受渡し位置が視認困難な場合であっても、第1および第2搬送アームの相対的な位置ずれを容易に捉えることができ、さらにその位置ずれを修正することが可能な基板搬送装置および基板搬送装置における位置ずれ修正方法を提供する。【解決手段】 搬送アーム2に治具5を載置し、搬送アーム2のテーパ部T2の位置補正機能を打ち消した後に、搬送アーム1に保持された基板10を基板受渡し位置を介して搬送アーム2に受渡し、さらに搬送アーム2が視認可能な待機位置に移動し、そこで保持された基板のずれ量を測定し、それに基づいて搬送アームの相対位置ずれを修正する。
請求項（抜粋）：
基板に対してアクセスした際に基板の保持位置を自動的に位置補正して当該基板を基準保持位置で保持する位置補正部を有し、所定の基板受渡し位置に対して個別に進退する第1および第2搬送アームを備え、前記第1搬送アームが基板を前記基板受渡し位置に渡した後に、前記第2搬送アームが前記基板受渡し位置に位置する基板を受け取り、前記第1搬送アームから前記第2搬送アームへの基板受渡しを行う基板搬送装置において、前記第2搬送アームの前記位置補正部に着脱自在で、前記第2搬送アームの前記位置補正部に載置され、当該位置補正部の位置補正機能を打ち消すとともに、当該位置補正部に代わって基板を水平保持して、前記第1搬送アームと前記第2搬送アームとの相対位置ずれを示す治具を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/10
, B65G 47/88
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 F
, B25J 9/10 A
, B65G 47/88 D
