特許

J-GLOBAL ID：200903061425759315

集積光電センサおよびその製造方法

発明者： ペーター・シユペツクバツヒヤー ,  デイーター・ミヒエル
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-343657
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193421
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 センサのできる限り多数の構造素子を半導体基板内に集積して形成し、半導体基板の一方の側面に全ての電気信号と、他方の側面に全ての光信号を送受信する集積光電センサおよびこのセンサを作製する方法を提示する。【解決手段】 半導体基板6から成り、目盛9を担持する目盛板10を走査する集積光電センサにあって、目盛板10とは反対の側面に多数の光検出器2.1,2.2を備え、その場合、半導体基板6が光検出器2.1,2.2の領域で少なくとも部分的に離れていて、目盛板10とは反対の側面に光源1を備え、この光源の領域で半導体層11.3,阻止層11.4および半導体基板6が離れていて、目盛板10に対向する側面でホルダー本体7に接続し、ホルダー本体7が少なくとも一つの目盛8.1,8.2,8.3を有する。

請求項（抜粋）：

半導体基板(6)から成り、目盛(9)を担持する目盛板(10)を走査する集積光電センサにおいて、・目盛板(10)とは反対の側面に多数の光検出器(2.1,2.2)を備え、その場合、半導体基板(6)が光検出器(2.1,2.2)の領域で少なくとも部分的に離れていて、・目盛板(10)とは反対の側面に光源(1)を備え、この光源の領域で半導体層(11.3),阻止層(11.4)および半導体基板(6)が離れていて、・目盛板(10)に対向する側面でホルダー本体(7)に接続し、ホルダー本体(7)が少なくとも一つの目盛(8.1,8.2,8.3)を有する、ことを特徴とするセンサ。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/30 ,  G01D 5/38 ,  H01L 31/12

FI (5件)：

G01B 11/00 Z ,  G01D 5/30 E ,  G01D 5/30 R ,  G01D 5/38 A ,  H01L 31/12 E