特許
J-GLOBAL ID:200903061426195644

温度測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-190593
公開番号(公開出願番号):特開平8-062055
出願日: 1995年07月26日
公開日(公表日): 1996年03月08日
要約:
【要約】【課題】 優れた特性を有する温度センサを提供すること。【解決手段】 選択された濃度のホウ素、リン、ヒ素、又はアンチモンなどの不純物をドーピングした集積化した薄膜シリコン又はポリシリコン抵抗を含む温度センサを与える。ドーパントのタイプと量とは、少なくとも幾つかの抵抗の温度係数を所定の値に確定するように選択され、それによって、その抵抗は所定の温度依存性を呈する。この温度依存性が温度センサの回路の内部で用いられることにより、温度応答に対してほぼ線形な出力を有する安定で正確で丈夫な温度センサを与える。
請求項(抜粋):
周囲の温度と関係する電気信号を生じる温度センサにおいて、周囲の温度と関数関係を有する差動電圧出力を発生する温度応答手段と、前記温度応答手段に接続されており、前記差動出力を増幅し、利得を有する増幅器手段と、周囲の温度の変動に応答して前記増幅器手段の前記利得を調節し、それによって周囲の温度を示す電気信号を発生する手段と、を備えていることを特徴とする温度センサ。

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