複合酸化物膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：間宮武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063296
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256863
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】製造プロセスの制御が比較的容易であり、大掛かりな装置も必要とせず、高温での加熱処理を行わなくてもBa、SrおよびTiの複合酸化物の薄膜を得ることができる製造方法を提供する。【手段】 Ba、SrおよびTiの各アルコキシドを出発原料とし、溶剤としてエチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルまたはそれらと炭素数が1〜4である一級アルコールとの混合溶液を使用し、前駆体塗布液を調製する。前駆体塗布液を基板の表面に塗布して成膜した後、基板上の薄膜に対し波長が360nm以下である光を照射して薄膜を結晶化させる。

請求項（抜粋）：

Baおよび/またはSrならびにTiの各アルコキシドを出発原料として前駆体塗布液を調製し、その前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、被塗布物表面に形成された薄膜を結晶化させて、組成式(Ba1-xSrx)TiO3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物の薄膜を形成する複合酸化物膜の製造方法において、前記前駆体塗布液を調製する際の溶剤として、エチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、または、エチレングリコールモノアルキルエーテルもしくはプロピレングリコールモノアルキルエーテルと炭素数が1〜4である一級アルコールより選ばれた1種もしくは2種以上のアルコールとの混合溶液を使用し、前記前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、被塗布物表面に形成された薄膜に対し波長が360nm以下である光を照射して薄膜を結晶化させることを特徴とする複合酸化物膜の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 18/12 , B01J 19/12 , B05D 3/06 , C01G 23/00 , C01B 13/14

FI (5件)：

C23C 18/12 , B01J 19/12 C , B05D 3/06 Z , C01G 23/00 C , C01B 13/14 Z

Fターム (35件)：

4D075BB48Z , 4D075DB31 , 4D075DC21 , 4D075EB01 , 4D075EC01 , 4D075EC02 , 4D075EC30 , 4G042DA02 , 4G042DB03 , 4G042DB15 , 4G042DD02 , 4G042DD10 , 4G042DE09 , 4G047CA02 , 4G047CA07 , 4G047CB06 , 4G047CC03 , 4G047CD02 , 4G047CD08 , 4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BB02 , 4G075CA02 , 4G075CA32 , 4G075CA33 , 4G075CA36 , 4G075CA51 , 4K022AA05 , 4K022AA13 , 4K022BA15 , 4K022BA22 , 4K022BA27 , 4K022BA33 , 4K022DA08 , 4K022DB01

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