特許

J-GLOBAL ID：200903061427307500

オゾンセンサの製造方法

発明者： 服部 章良 ,  立花 弘一 ,  吉田 昭彦 ,  吉池 信幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-122224
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331588
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】高感度なオゾンセンサを再現性良く作製することが可能な製造方法を提供することを目的とする。【構成】表面粗さ(Ra)が0.01〜1μmの絶縁基板1上に、電極形成用ペーストを印刷・焼成して少なくとも一対の電極2を形成する。次に、無機インジウム塩と、インジウムに配位可能な有機化合物と、活剤を含む有機溶液からなるオゾン感応体形成用組成物を塗布・焼成して前記絶縁基板1および前記電極2上にオゾン感応体3を形成する。最後に、前記電極2上のオゾン感応体3に接着用ペーストを塗布・焼成して接着剤4でリード5を接着する。

請求項（抜粋）：

表面粗さ(Ra)が0.01〜1μmの絶縁基板上に、電極形成用ペーストを印刷・焼成して、少なくとも一対の電極を形成する工程と、前記絶縁基板上にオゾン感応体形成用組成物を塗布・焼成してオゾン感応体を形成する工程と、前記電極上のオゾン感応体に接着用ペーストを塗布・焼成して、リードを接着する工程を具備することを特徴とするオゾンセンサの製造方法。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  H01B 5/14