特許

J-GLOBAL ID：200903061430926947

合成石英ガラス部材の製造方法

発明者： 滝田 政俊 ,  沢田 勝也 ,  代田 和雄 ,  大塚 久利
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072896
公開番号（公開出願番号）：特開平5-238758
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は多孔質シリカ母材のかさ密度、合成石英ガラス中のOH基含有量が制御された、高温耐熱性のすぐれた合成石英ガラス部材の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、一般式 R1nSi(OR2)4-n(ここにR1は水素原子、メチル基またはエチル基、R2はメチル基またはエチル基、n は0〜4の正数)で示されるエステルシランまたはこれと水素ガスもしくは塩素を含まない気化された可燃性物質との混合ガスの燃焼から得られた多孔質シリカ母材を、真空下または水を含まない不活性ガス雰囲気下で加熱溶融して合成石英ガラスを製造する方法において、多孔質シリカ母材を製造する多重管バーナーの外周部にフードを設置し、バーナー中心軸とフード開口部の中心軸とのなす角度を0±15°の範囲となるようにしてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

一般式 R1nSi(OR2)4-n(ここにR1は水素原子、メチル基またはエチル基、R2はメチル基またはエチル基、n は0〜4の正数)で示されるエステルシランまたはこれと水素ガスもしくは塩素を含まない気化された可燃性物質との混合ガスの燃焼から得られた多孔質シリカ母材を、真空下または水を含まない不活性ガス雰囲気下で加熱溶融して合成石英ガラスを製造する方法において、多孔質シリカ母材を製造する多重管バーナーの外周部にフードを設置し、バーナーの中心軸とフード開口部の中心軸とのなす角度を0±15°の範囲となるようにしてなることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (2件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00