特許

J-GLOBAL ID：200903061434569588

感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法

発明者： 津島 宏
出願人/特許権者： 日本ペイント株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-169880
公開番号（公開出願番号）：特開2000-003047
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 露光時間を短縮し、カラーフィルターや半導体などの生産性を上げるための、感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法の提供。【解決手段】 a)重量平均分子量10,000以上のポリシラン、およびb)粒径1〜30nmの銀コロイドを含有する感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

a)重量平均分子量10,000以上のポリシラン、b)粒径1〜30nmの銀コロイドを含有する感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/075 511 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 503

FI (4件)：

G03F 7/075 511 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 503 Z

Fターム (27件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BD20 ,  2H025BD23 ,  2H025BF30 ,  2H025CA00 ,  2H025CC02 ,  2H025CC03 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA06 ,  2H025FA17 ,  2H025FA37 ,  2H048BA19 ,  2H048BA62 ,  2H091FA02Y ,  2H091FB04 ,  2H091FB12 ,  2H091FB13 ,  2H091FC01 ,  2H091FC06 ,  2H091FC10 ,  2H091LA12