特許
J-GLOBAL ID：200903061441859133
露光データ作成方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-044353
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254012
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】修正後の露光データ作成時間を短縮する。【構成】予め設計され、階層構造をなすレイアウトデータ11に対してその階層構造を保持したままサイジング、スケーリング、ミラー等の第1の基本処理14を行い、その基本処理後のデータを基本処理済レイアウトデータ12として一旦記憶する。そして、記憶した基本処理済レイアウトデータ12に対して図形展開、論理処理、領域分割、フォーマット変換等の変換処理15を行い露光データ13を作成する。一方、レイアウトデータ11に修正がある場合には、その修正部分に対してのみ第2の基本処理16にて基本処理を行う。そして、入れ換え処理17にてその基本処理を行った修正部分と、格納してある先の基本処理済レイアウトデータ12の修正が必要な部分とを入れ換る。そして、その入れ換えた基本処理済レイアウトデータ12に対して変換処理15を行い露光データ13を作成する。
請求項（抜粋）：
予め設計され、階層構造をなすレイアウトデータから露光データを作成する露光データ作成方法であって、前記レイアウトデータの階層構造を保持したままサイジング、スケーリング、ミラー等の基本処理を行い、その基本処理後のデータを基本処理済レイアウトデータとして記憶し、基本処理済レイアウトデータに対して図形展開、論理処理、領域分割、フォーマット変換等の変換処理を行い露光データを作成し、前記レイアウトデータが修正された場合には、その修正部分に対してのみ基本処理を行い、その基本処理を行った修正部分と、格納してある先の基本処理済レイアウトデータデータの修正が必要な部分とを入れ換え、その入れ換えた基本処理済レイアウトデータに対して変換処理を行い露光データを作成するようにしたことを特徴とする露光データ作成方法。
IPC (3件)：
G06F 17/50
, G03F 1/08
, H01L 21/027
G06F 15/60 370 K
, H01L 21/30 502 W
