特許

J-GLOBAL ID：200903061442456113

縦型気相成長装置

発明者： 西林 道生
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-225128
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133245
出願日： 2002年08月01日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】 縦型気相成長装置において、反応室内に配置されたサセプタ上での温度分布の均一化を図る。【解決手段】 反応室3内にはサセプタ4が配置され、その下側に誘導加熱用コイル5が配置されている。ウエーハ10はサセプタ4の上に置かれる。べルジャ2の天井部には温度測定窓13が設けられ、その外側に赤外線放射温度計20が配置されている。赤外線放射温度計20は回転軸21で支持されている。制御部24は、赤外線放射温度計20の旋回角度を切り換えながら、サセプタ4の半径方向の所定位置の温度を検出する。コイル位置制御装置35は、検出された温度を取り込み、サーボモータ34を制御して誘導加熱用コイル5の各部分の高さを調整し、サセプタ4の表面温度を均一にする。

請求項（抜粋）：

ベース及びベルジャから構成される反応室と、反応室内に配置されたサセプタと、サセプタの下方に配置され、サセプタ上に置かれたウエーハを加熱するための誘導加熱用コイルと、この誘導加熱用コイルを支持し、その少なくとも一部の位置において、サセプタと誘導加熱用コイルの間の距離を調整するための高さ調整装置と、ベルジャに設けられた測定窓と、この測定窓の外側に配置され、サセプタ及びサセプタ上に置かれたウエーハの表面温度を測定する放射温度計と、この放射温度計を支持し、放射温度計による測定点をサセプタの半径方向に移動させる駆動機構と、この駆動機構を制御し、放射温度計による測定点を予め設定された位置に順次合わせ、各測定点での放射温度計の出力を取り込むとともに、各測定点での出力が所定の値になるように前記高さ調整装置を制御する制御装置と、を備えたことを特徴とする縦型気相成長装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/46

FI (2件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/46

Fターム (19件)：

4K030GA01 ,  4K030HA13 ,  4K030JA03 ,  4K030JA10 ,  4K030KA04 ,  4K030KA37 ,  4K030KA41 ,  4K030KA43 ,  5F045AA03 ,  5F045AA06 ,  5F045BB02 ,  5F045BB10 ,  5F045DP15 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB02 ,  5F045EK03 ,  5F045EM10 ,  5F045GB02 ,  5F045GB05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-207331
  
• 特開昭60-207331