特許

J-GLOBAL ID：200903061446586577

補償光学装置とこれを用いた天体望遠鏡,光データリンク,レーザ加工機

発明者： 一ノ瀬 祐治
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-031989
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250108
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 微弱な光でもその波面のゆがみを補正する。【構成】 入射光1を形状可変鏡2で反射させて波面14の歪を補正するとき、形状可変鏡2の反射面の領域毎に該反射面を異なる周波数で振動させて反射光を位相変調する。位相変調させた光を、ビ-ムスプリッタ3で取り出してレンズ6でピンホ-ル7上に集光し、この集光された光にレ-ザ発振器9から出力されるレ-ザビ-ム11を干渉させ、光検出器8で光強度を検出する。波面制御装置12はこの光の強度に基づいて各位相変調信号を分離し、その信号より、形状可変鏡の各領域毎に配置されたアクチュエータの進退量を決定し駆動電源13を介して駆動する。検出する各位相変調信号は交流信号であるため、レ-ザビ-ムとの干渉で増幅し、光検出器の受信レベル以下の弱い光の波面の補正も可能となる。

請求項（抜粋）：

光波の波面歪を検出し波面歪を補正する補償光学装置において、波面歪を補正する形状可変鏡と、該形状可変鏡の反射面の特定の領域毎に光波を異なる周波数で位相変調する手段と、位相変調された光波を集光したものとレ-ザビ-ムとを干渉させた後にその強度を検出する手段と、該強度から前記波面の歪みを検出し形状可変鏡を制御する手段とを備えることを特徴とする補償光学装置。

IPC (6件)：

G02B 27/00 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 23/00 ,  G02B 26/08 ,  G02F 1/13 505

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭54-091287
  
• 特開昭58-076742
  
• 特開昭56-054338
  
• 特開昭52-094187