磁気ヘッドスライダ及びその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木市郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-343229
公開番号（公開出願番号）：特開2002-237162
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】磁気ヘッドのスライダの側面での残渣物の発生を防止し、スライダのバーの浮上面を加工するとき、加工用の基板へのバーの接着性を向上させる。【解決手段】基板50に複数のバー2をまとめて、浮上面6を上面として、接着固定し(図3(a))、バー2間に樹脂10を充填硬化した後、浮上面6にカーボンの保護層5を形成する(図3(b))。これにより、バー2の側面でのカーボンの残渣物が防止できる。バー2の浮上面6とは反対側の裏面9をラッピングした後(図3(c))、再度基板50bに固定して(図3(d))裏面9を粗面化し(図3(e))、粗面化された裏面9に基板50aを貼り付け(図3(f))、基板50bを剥がして浮上面6側を上面とする(図3(g))。そして、バー2間に樹脂10を充填して硬化し(図3(h))、フォトレジスタを用いたイオンミリングや反応性イオンエッチングにより、浮上面6を加工する(図3(i)〜(n))。

請求項（抜粋）：

スライダ本体に磁気ヘッドが設けられた磁気ヘッドスライダであって、該スライド本体での磁気記録媒体と対向する浮上面にカーボンによる保護膜が形成されており、該浮上面以外の該スライダ本体の面が該カーボンが付着されていない面をなすことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。

IPC (3件)：

G11B 21/21 101 , G11B 21/21 , G11B 5/60

FI (6件)：

G11B 21/21 101 L , G11B 21/21 101 K , G11B 21/21 101 Z , G11B 5/60 B , G11B 5/60 C , G11B 5/60 Z

Fターム (7件)：

5D042NA01 , 5D042PA01 , 5D042PA07 , 5D042PA09 , 5D042RA02 , 5D042RA04 , 5D042SA01

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