特許

J-GLOBAL ID：200903061452822576

半導体集積回路装置の故障診断装置

発明者： 下田 玲祐 ,  吉村 正義
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-305894
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107134
出願日： 2001年10月02日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 縮退故障以外の半導体集積回路装置の故障についても故障診断できると共に、その診断結果の確率を算出することを目的とする。【解決手段】 テストパターンを用いた検査におけるフェイルの原因となる可能性のある内部回路の故障を初期被疑故障抽出手段102により初期被疑故障として抽出し、この初期被疑故障に対して故障検証手段104により故障シミュレーションを実施して検査における各フェイルの原因となる内部回路故障の候補を検出する。このことにより、縮退故障以外の半導体集積回路装置の故障についても故障診断できると共に、その診断結果の確率を算出することができる。

請求項（抜粋）：

半導体集積回路装置の検査結果からシミュレーションにより前記半導体集積回路装置の故障箇所を推定する故障診断装置であって、前記半導体集積回路装置のテスター検査におけるフェイル箇所を記憶しておくフェイル箇所記憶手段と、前記フェイル箇所の原因になる可能性のある内部回路の故障を初期被疑故障として抽出する初期被疑故障抽出手段と、前記初期被疑故障を記憶する初期被疑故障記憶手段と、前記テスターでの検査に用いたテストパターンを用いて前記初期被疑故障と前記フェイル箇所との相関関係を調べる故障シミュレーションを実施して前記初期被疑故障とその原因となる可能性のある前記フェイル箇所との関係を検出故障情報として出力する故障検証手段と、前記検出故障情報と前記フェイル箇所とを比較してそれぞれの初期被疑故障が前記フェイルの原因となる故障箇所である確率を算出する故障可能性指標算出手段と、前記故障可能性指標算出手段により得られた情報を出力する診断結果出力手段とを有する半導体集積回路装置の故障診断装置。

IPC (2件)：

G01R 31/28 ,  G06F 11/22 360

FI (2件)：

G06F 11/22 360 C ,  G01R 31/28 F

Fターム (8件)：

2G132AA01 ,  2G132AC09 ,  2G132AE19 ,  2G132AL12 ,  5B048AA20 ,  5B048DD05 ,  5B048DD16 ,  5B048FF02