特許
J-GLOBAL ID：200903061454335184
集積型SPMセンサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-063547
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273157
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】簡略な構成でカンチレバーのねじれ方向の変位量が検出できる集積型SPMセンサーを提供する。【構成】集積型SPMセンサーにおいて、カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化するセンサ部を略E字型の形状に形成する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化するセンサ部を有する集積型SPMセンサーであって、前記センサ部の形状が略E字型であることを特徴とする集積型SPMセンサー。
IPC (2件)：
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