感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鳴井義夫 , 清水猛 , 伊藤穣 , 武井英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-098090
公開番号（公開出願番号）：特開2008-256884
出願日： 2007年04月04日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：

【課題】LSIチップのバッファコート材料や再配線層として好適な、キュア前後での膜減りが少なく、2.7以下という低誘電率で、製膜に適した粘度で、通常の光重合開始剤を用いても空気中で硬化可能な感光性シリコーン化合物を含む樹脂組成物、並びにそれを用いた樹脂絶縁膜を提供すること。【解決手段】特定の構造を有する感光性シリコーン化合物100質量部、及び光重合開始剤0.1〜20質量部を含有する感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記(I)記載の感光性シリコーン化合物100質量部、及び(B)光重合開始剤0.1〜20質量部を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。 (I)下記一般式(a)で示される少なくとも一種のシラノール化合物(以下、(a)成分)に対し、下記一般式(b1)で示される化合物(以下、(b1)成分)及び(b2)で示される化合物(以下、(b2)成分)からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物であり、(b1)成分をモル数で10%以上100%以下含有する、(b)成分を、(a)成分/(b)成分=40モル%/60モル%〜60モル%/40モル%の割合で加え、触媒の存在下、積極的に水を添加することなく縮合させる方法で得られる、感光性シリコーン化合物。ここで、(b)成分のモル数=((b1)成分のモル数)+((b2)成分のモル数)である。

IPC (5件)：

G03F 7/075 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08G 77/52 , C08F 290/14

FI (5件)：

G03F7/075 511 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08G77/52 , C08F290/14

Fターム (72件)：

2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC43 , 2H025BC78 , 2H025CA03 , 2H025CA07 , 2H025CA27 , 2H025CA30 , 2H025CC06 , 2H025FA16 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA03 , 2H096HA01 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127AA06 , 4J127BB041 , 4J127BB081 , 4J127BB221 , 4J127BC031 , 4J127BC151 , 4J127BD291 , 4J127BD331 , 4J127BD371 , 4J127BE59Y , 4J127BE591 , 4J127BF72Y , 4J127BF721 , 4J127BG05Y , 4J127BG051 , 4J127BG36Y , 4J127BG361 , 4J127BG38Y , 4J127BG381 , 4J127CB151 , 4J127CB282 , 4J127CC132 , 4J127CC391 , 4J127FA17 , 4J127FA38 , 4J246AA03 , 4J246AA08 , 4J246AB01 , 4J246AB12 , 4J246BA02X , 4J246BA020 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB022 , 4J246BB20X , 4J246BB200 , 4J246BB201 , 4J246CA16U , 4J246CA16X , 4J246CA160 , 4J246FA031 , 4J246FA131 , 4J246FA471 , 4J246FB211 , 4J246GB02 , 4J246GC26 , 4J246GC45 , 4J246HA15 , 4J246HA57

引用特許：

出願人引用 (2件)

カナダ国特許第2378756号公報
米国特許2004/0242830号

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