特許

J-GLOBAL ID：200903061458892002

蛍光装置およびこれを用いた撮像装置並びに検査装置

発明者： 高口 雅成 ,  柿林 博司 ,  大島 徹也 ,  鮫島 賢二 ,  牧島 達男 ,  兼堀 恵一 ,  品田 博之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-119084
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054878
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 入射粒子線像-光像変換のための蛍光体における荷電粒子線の散乱を、蛍光体に外部より電界を印加することにより抑え、高発光量を維持しつつ解像度、S/Nの低下を防ぐ。【解決手段】 蛍光体の電子線入射面と蛍光出射面に電極を設け、電極間に電圧を印加する。【効果】 解像度、S/Nの低下の大きな影響をおよぼす低エネルギー荷電粒子線の入射位置からの散乱による外れ量を抑え、上記目的を達成。

請求項（抜粋）：

粒子線を光線に変換する蛍光体において、任意の面間に可変な電圧を印加することにより、蛍光体内での荷電粒子線の散乱、拡散領域を制御する手段を含むことを特徴とした蛍光装置。

IPC (3件)：

G01T 1/20 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 40/18

FI (3件)：

G01T 1/20 Z ,  H01J 37/22 501 B ,  H01J 40/18