特許
J-GLOBAL ID：200903061469580932
液管理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272068
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077199
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 洗浄液に含まれる過酸化水素、オゾン等の成分を、滴定をすることなく分析するようにした液管理装置の提供を目的とする。【構成】 過酸化水素、オゾン等の成分を分解して酸素ガスを発生させ、分解された酸素ガスの濃度を酸素センサ45により測定し、更にこの酸素センサ45にて測定された酸素濃度に基づき、洗浄液中に含まれる成分の濃度を検出するようにした。
請求項（抜粋）：
酸素を発生させる成分が含有された溶液を測定する液管理装置であって、前記溶液を分解して酸素ガスを発生させる分解手段と、該分解手段において分解された酸素ガスの濃度を測定する測定手段と、該測定手段にて測定された酸素濃度に基づき、前記溶液に含まれる成分の濃度を演算する演算手段とから構成されたことを特徴とする液管理装置。
引用特許：
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