特許
J-GLOBAL ID：200903061479647270
電子ビーム励起イオンプラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
富田 幸春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165753
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017377
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】電子ビーム励起イオンプラズマ発生装置の電子ビームガンの補助電極,放電電極,加速電極の少くともいずれか1つをそのオリフィス径を外部から可変にし得るようにして放電を安定な状態にしながら、引き出し電子ビームの電流、及び、エネルギーのコントロールが最適に行えるようにする。【構成】補助電極7、放電電極7' 、加速電極8のオリフィスピース21を外部の駆動機構22により自在に拡縮し、通過する電流をコントロールし、ガス圧を調整出来るようにし、プラズマ生成を高効率で行えるようにする。【効果】引き出し電子ビームの電流、及び、エネルギーを自在にコントロールし、高効率でプラズマ生成を行うことが出来るようにすることが出来る。
請求項（抜粋）：
イオンプラズマ生成領域に前設される電子ビームガンが加熱陰極に対し補助電極,放電電極,加速電極をこの順で配設されている電子ビーム励起イオンプラズマ発生装置において、該補助電極,放電電極,加速電極の少くともいずれか1つがそのオリフィス径を可変し得る外部の駆動機構に連係されていることを特徴とする電子ビーム励起イオンプラズマ発生装置。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, H01J 27/20
, H01J 37/32
, H05H 1/48
