特許
J-GLOBAL ID:200903061490889960

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北村 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-198052
公開番号(公開出願番号):特開平7-055747
出願日: 1993年08月10日
公開日(公表日): 1995年03月03日
要約:
【要約】【目的】 点検ガスを吸着する吸着層を備えているにもかかわらず、従来より低い濃度の点検ガスの供給で、迅速かつ確実に鳴動するとともに、吸着層からの点検ガスの放出が比較的短時間におこなわれて、通常検知状態への復帰が早いガスセンサを得る。【構成】 ハウジング外部4aと内部4bとの間でガスが流通可能な通気孔5を備えた気密性ハウジング2内に、検知対象ガス及び点検ガスに感応する金属酸化物半導体よりなるガス検知素子3を備え、通気孔5に点検ガスを吸着可能な吸着層7を備えたガスセンサにおいて、通気孔5とは別の点検ガス流通孔9を気密性ハウジング2に設け、検知対象ガスを検知するための通常ガス検知状態において、点検ガス流通孔9を流通するガスの流量を点検ガスに対する検知対象ガスの選択性が増加する流量に制限する流量制限能を、点検ガス流通孔9に備える。
請求項(抜粋):
ハウジング外部(4a)と内部(4b)との間でガスが流通可能な通気孔(5)を備えた気密性ハウジング(2)内に、検知対象ガス及び点検ガスに感応する金属酸化物半導体よりなるガス検知素子(3)を備え、前記通気孔(5)に前記点検ガスを吸着可能な吸着層(7)を備えたガスセンサであって、前記通気孔(5)とは別の点検ガス流通孔(9)を前記気密性ハウジング(2)に設けるとともに、前記検知対象ガスを検知するための通常ガス検知状態において、前記点検ガス流通孔(9)を流通するガスの流量を前記点検ガスに対する前記検知対象ガスの選択性が増加する流量に制限する流量制限能を、前記点検ガス流通孔(9)に備えたガスセンサ。
IPC (2件):
G01N 27/16 ,  G01N 27/12

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