研磨方法と装置、それらに用いる目立て方法、研磨具

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371927
公開番号（公開出願番号）：特開2000-190204
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】研磨性能の向上と長期安定、および生産性の向上が図れるようにする。【解決手段】バックアップ部材19の前記膨出される部分19aに設けられ前記流体圧力によっては変形しない非変形部19bがなす平坦面19cにて研磨パッド9をバックアップして前記加工物1への押しつけを行い研磨することにより、また、研磨パッド9を表面に保持しバックアップしているバックアップ部材19を、研磨具18内から吸引して背部にある受止め部材61に吸着支持した状態で、研磨パッド9の研磨面9aとドレッシング部材41とを押し当てることにより、研磨面9aを目立てすることにより、上記のような目的を達成する。

請求項（抜粋）：

流体圧力により研磨具から膨出させたバックアップ部材にて研磨パッドをバックアップして加工物に押しつけた状態で、双方を相対移動させることにより加工物を研磨する研磨方法において、バックアップ部材の前記膨出される部分に設けられ前記流体圧力によっては変形しない非変形部がなす平坦面にて研磨パッドをバックアップして前記加工物への押しつけを行い研磨することを特徴とする研磨方法。

IPC (5件)：

B24B 37/00 , B24B 1/00 , B24B 53/00 , B24B 53/02 , H01L 21/304 622

FI (6件)：

B24B 37/00 B , B24B 37/00 A , B24B 1/00 A , B24B 53/00 C , B24B 53/02 , H01L 21/304 622 F

Fターム (27件)：

3C047AA34 , 3C047BB01 , 3C047BB12 , 3C047EE01 , 3C049AA07 , 3C049AA12 , 3C049AA16 , 3C049AB06 , 3C049BA02 , 3C049BA05 , 3C049BB04 , 3C049BC02 , 3C049CA01 , 3C049CB01 , 3C049CB03 , 3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA12 , 3C058AA16 , 3C058AB06 , 3C058BA02 , 3C058BA05 , 3C058BB04 , 3C058BC02 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA17

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