特許
J-GLOBAL ID:200903061501604458

ZnS系焼結体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-117300
公開番号(公開出願番号):特開平5-310467
出願日: 1992年05月11日
公開日(公表日): 1993年11月22日
要約:
【要約】【目的】 EL素子形成用ターゲット材としてのZnS系焼結体の高密度化および量産化に適したZnS系焼結体の製造方法を提供すること。【構成】 原材料のZnS粉末として平均粒径が5μm以下のものを使用し、まず、ZnS粉末に発光性元素を混合したZnS系粉末あるいはZnS粉末を冷間プレス法で予備成形して粉末成形体とし(ステップ1)、次いで、この粉末成形体をホットプレス用の成形型に移して、昇温前に130〜150kg/cm2 の加圧をし(ステップ2)、さらに、この加圧状態からArガス雰囲気中で700°C〜1100°Cの温度範囲に昇温させることによってZnS系焼結体を得る(ステップ3)。
請求項(抜粋):
ZnS粉末又はZnS粉末に発光性元素を混合したZnS系粉末を焼結させることによって、EL素子を構成する薄膜形成用ターゲット材又はソース材として利用できるZnS系焼結体を得るZnS系焼結体の製造方法であって、前記ZnS粉末としては平均粒径が50μm以下のものを使用し、まず、ZnS系粉末あるいはZnS粉末を冷間プレス法で予備成形して粉末成形体とし、次いで、この粉末成形体をホットプレス用の成形型に移して、昇温前に130〜150kg/cm2 の加圧をし、この加圧状態からArガス雰囲気中で780°C〜1100°Cの温度範囲に昇温させることによってZnS系焼結体を得ることを特徴とするZnS系焼結体の製造方法。
IPC (6件):
C04B 35/00 ,  B22F 1/00 ,  B30B 11/02 ,  C01G 9/08 ,  C23C 14/30 ,  C23C 14/34

前のページに戻る