特許
J-GLOBAL ID：200903061513553093
多成分系無機化合物のガス反応性判別方法、それに用いる多成分系無機化合物薄膜、および多成分系無機化合物のガス反応性判別装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-241803
公開番号（公開出願番号）：特開2004-077429
出願日： 2002年08月22日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】多成分系無機化合物の種々の組成について、ガスとの反応性を効率良く簡便に判別する方法を提供する。【解決手段】多成分系無機化合物のガス反応性判別方法を、二以上の成分から構成される無機化合物からなり、平面的に組成が変化している多成分系無機化合物薄膜を準備する多成分系無機化合物薄膜準備工程と、前記多成分系無機化合物薄膜にガスを反応させるガス反応工程と、前記多成分系無機化合物薄膜の表面を走査して該多成分系無機化合物薄膜における各組成ごとの結晶構造を測定する結晶構造測定工程とを含んで構成する。平面的に組成が変化している多成分系無機化合物薄膜を試料として用いることで、種々の組成ごとに試料を作製することなく、各組成のガスに対する反応性を効率よく判別することができる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
二以上の成分から構成される無機化合物からなり、平面的に組成が変化している多成分系無機化合物薄膜を準備する多成分系無機化合物薄膜準備工程と、
前記多成分系無機化合物薄膜にガスを反応させるガス反応工程と、
前記多成分系無機化合物薄膜の表面を走査して該多成分系無機化合物薄膜における各組成ごとの結晶構造を測定する結晶構造測定工程と
を含む多成分系無機化合物のガス反応性判別方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (23件)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001GA01
, 2G001GA13
, 2G001KA08
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001RA02
, 4K029AA06
, 4K029BA21
, 4K029BA43
, 4K029BA53
, 4K029BA55
, 4K029BA58
, 4K029BB01
, 4K029BD00
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC16
, 5H027AA02
, 5H027BA14
