特許

J-GLOBAL ID：200903061521565963

荷電粒子線装置

発明者： 清水 弘泰 ,  鈴木 正平 ,  中筋 護 ,  今野 智司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207705
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047332
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 非点補正装置の軸合わせを迅速且つ正確に行うことができるようにする。【構成】 電子線の非点収差を補正する収差補正機構とこの収差補正機構の中心軸と装置全体の中心軸との軸ずれを補正する軸補正機構とよりなるスティグメータ5と、試料面12からの信号を検出する検出器13と、この検出器13から得られる信号を処理してその試料面12上の所定のパターンの位置を測定するパターン位置測定装置23と、そのスティグメータ5を第1の状態及び第2の状態に設定したときにその所定のパターンの位置のずれを取り込み、この位置のずれを打ち消すようにそのスティグメータ5の軸補正機構に軸ずれ補正用の信号を供給する計算機18とを有する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線の非点収差を補正する収差補正機構と該収差補正機構の中心軸と装置全体の中心軸との軸ずれを補正する軸補正機構とよりなる非点補正装置と、上記荷電粒子線の試料面への入射による試料面からの信号を検出する検出装置と、該検出装置から得られる信号を処理して上記試料面上の所定のパターンの位置を測定するパターン位置測定装置と、上記非点補正装置を第1の状態及び第2の状態に設定したときにそれぞれ上記パターン位置測定装置により測定される上記所定のパターンの位置のずれを取り込み、該位置のずれを打ち消すように上記非点補正装置の軸補正機構に軸ずれ補正用の信号を供給する制御装置とを有し、上記非点補正装置が動作しているときでも上記所定のパターンの測定される位置が上記非点補正装置が動作していないときの位置になるようにしたことを特徴とする荷電粒子線装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-013649
  
• 特開昭53-131755
  
• 特開昭63-228556