特許
J-GLOBAL ID：200903061524147542
薬液中のSi濃度モニタ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154832
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346402
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハのエッチング液(HF)中の微量Siを精度良く迅速に測定してエッチングレートを一定に保ちながら安定した酸化膜除去を行うことのできる薬液中のSi濃度モニタ装置を提供する【構成】 エッチング液とキャリア(純水)を交互にサンプリングして送出し、これに第1の反応液(モリブデン酸アンモニウムとホウ酸の混合液)を混合して80°C以下に加熱し、その発色を吸光度測定手段により測定する。また、上記処理液中のSi濃度をモニタして新しい処理液を補給し、これを循環混合する。また、上記混合液に第2の反応液(4-アミノ3-ヒドロキシナフタレンスルホン酸と亜硫酸ナトリュウムの混合液)を混合加熱してSi濃度を高感度に測定する。
請求項（抜粋）：
半導体製造工程等において処理液中に溶け出したSiを発色させて吸光度測定を行う薬液中のSi濃度モニタ装置において、上記処理液とキャリア(純水)の所定量を交互にサンプリングして送出するサンプリング手段と、上記サンプリング手段が出力する試料液に第1の反応液を混合する第1の混合手段と、第1の混合手段が出力する混合液を加熱する手段と、上記加熱手段が出力する混合液の発色を測定する吸光度測定手段とを備えたことを特徴とする薬液中のSi濃度モニタ装置。
IPC (3件)：
G01N 21/78
, G01N 31/00
, H01L 21/66
