特許

J-GLOBAL ID：200903061527353100

基板の濡れ性判定方法、該判定方法に用いられる試薬塗布具及び液晶装置の製造方法

発明者： 上條 光一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-272097
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097835
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 液晶パネルや半導体デバイスの製造ラインの現場において簡便かつ短時間で基板の濡れ性を判定することのできる基板の濡れ性判定方法および該判定方法に用いられる試薬塗布具を提供する。【解決手段】 基板(ガラス基板1)の一部に付着張力の異なるn種類(nは1以上の整数)の液状試薬(2a〜2d)を塗布する塗布過程と、上記基板上における各液状試薬の付着程度を測定する測定過程と、上記測定過程において測定された液状試薬の付着程度に基づいて基板の濡れ性の良否を判定する判定過程とを少なくとも有するようにした。

請求項（抜粋）：

基板の一部に付着張力の異なるn種類(nは1以上の整数)の液状試薬を塗布する塗布過程と、上記基板上における各液状試薬の塗布膜の付着程度を測定する測定過程と、上記測定過程において測定された液状試薬の付着程度に基づいて基板の濡れ性の良否を判定する判定過程と、を少なくとも有することを特徴とする基板の濡れ性判定方法。

IPC (4件)：

G01N 13/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 13/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/66 L

Fターム (17件)：

2H088EA02 ,  2H088FA11 ,  2H088FA20 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H090HC18 ,  2H090HC20 ,  2H090JC18 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106BA20 ,  4M106CA29 ,  4M106DH01 ,  4M106DH12 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ32