特許

J-GLOBAL ID：200903061528520230

非接触式相対変位測定法及び測定装置

発明者： 小川 博文 ,  石川 雄一 ,  北原 時雄
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-292343
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128805
出願日： 1994年11月01日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】 測定点間の距離に比して各測定点の変位が極めて小さい場合でも測定が可能であり、また各測定点間の距離が極めて小さい場合でも良好に測定点の相対変位の測定をすることができる非接触式相対変位測定法及び測定装置を提供すること。【構成】 試験片上の2つの測定点に標識を記し、それぞれの標識を別々に2視野顕微鏡3のそれぞれの視野内に置き、2視野顕微鏡3で形成した2つの標識の画像の相対変位を測定する。

請求項（抜粋）：

試験片上の2つの測定点に標識を記し、それぞれの前記標識を別々に2視野顕微鏡のそれぞれの視野内に置き、前記2視野顕微鏡で形成した前記2つの標識の画像の相対変位を測定することを特徴とする非接触式相対変位測定法。

IPC (3件)：

G01B 9/04 ,  G01B 11/02 ,  G01N 3/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭50-099355
  
• 特開昭63-061106
  
• 特開昭63-280211