フィルターユニット及びフィルター

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高島一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336691
公開番号（公開出願番号）：特開2001-149723
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】半導体製造プロセスなどにおいて排出される排気ガス中の反応生成物等の夾雑物、その他ミストやダストを含めた微粒子を長期間除去できるようにすることで、それ自体及びこれに後続する除害設備の負荷を軽減させるフィルターユニットを提供する。【解決手段】被処理ガスがフィルターユニット内を1回転以上渦巻状に進行する流路5-1,5-2を形成するようにガス不透過性の隔壁2-1,2-2,2-3が設けられている。流路5-1,5-2を形成する隔壁2-1,2-2,2-3の少なくとも片側の面に、フィルター部材3-1,3-2,3-3が流路5-1,5-2を閉塞しないように積層されている。【効果】このフィルターユニットを半導体製造プロセスなどの排気ガスのラインに組み込むことで除害設備の負荷が軽減でき、掃除回数や設備寿命を大幅に改善できると共に、排気ガスの種類によっては除害設備そのものを省略することも可能となる。

請求項（抜粋）：

被処理ガス中の微粒子を除去するフィルターユニットであって、該被処理ガスが該フィルターユニット内を1回転以上渦巻状に進行する流路を形成するようにガス不透過性の隔壁が設けられ、該流路を形成する隔壁の少なくとも片側の面にフィルター部材が該流路を閉塞しないように積層されたフィルターユニット。

Fターム (9件)：

4D031AC02 , 4D031AC03 , 4D031AC04 , 4D031BA01 , 4D031BA03 , 4D031BA10 , 4D031BB04 , 4D031DA01 , 4D031DA05

引用特許：

審査官引用 (2件)

回収装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-120777 出願人：ソニー株式会社
オイルミスト回収装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-052926 出願人：蟹真夫

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