特許

J-GLOBAL ID：200903061532116125

排ガス分解処理方法

発明者： 屋良 卓也
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-126252
公開番号（公開出願番号）：特開2002-320844
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：

【要約】【課題】 フッ素化合物排ガスを簡便に、多量に分解処理できるプラズマ処理方法の提供。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下で、対向する一対の電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該一対の対向電極間にパルス状の電界を印加することにより生成されたプラズマによりフッ素化合物ガスを分解することを特徴とする排ガス分解処理方法。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下で、対向する一対の電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該一対の対向電極間にパルス状の電界を印加することにより生成されたプラズマによりフッ素化合物ガスを分解することを特徴とする排ガス分解処理方法。

IPC (6件)：

B01J 19/08 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/68 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/302 ,  H05H 1/46

FI (6件)：

B01J 19/08 E ,  C23C 16/44 J ,  H05H 1/46 M ,  B01D 53/34 134 Z ,  B01D 53/34 ZAB ,  H01L 21/302 Z

Fターム (18件)：

4D002AA22 ,  4D002AC07 ,  4D002BA05 ,  4D002BA07 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075CA47 ,  4G075EC21 ,  4G075FC13 ,  4G075FC15 ,  4K030DA06 ,  4K030JA11 ,  4K030JA14 ,  4K030KA15 ,  4K030KA46 ,  5F004AA16 ,  5F004FA08