特許
J-GLOBAL ID：200903061532179178
周波数同調可能な共振型スキャナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
廣江 武典
, 宇野 健一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-527491
公開番号（公開出願番号）：特表2005-502910
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
ディスプレイ装置は、二つ以上の軸線の周りで、通常はラスタパターンにおいて、走査を行う走査組立体を含む。複数の光源は、間隔の空いた位置から、走査組立体に向かって、走査組立体が同時に二本以上のビームを走査するように、光を発する。走査組立体は、可変共振周波数を伴う共振型走査組立体である。走査組立体の共振周波数は、走査組立体を収容するパッケージ内の流体の分圧を制御することで、能動的に制御できる。一実施形態において、増加した分圧は、走査鏡の質量を増加させ、これにより、共振周波数を変化させる。別の実施形態では、ガス吸収材料が、走査鏡を支持する支持アームに結合される。ガス吸収材料がガスを吸収すると、その物理特性が変化し、これにより、走査組立体の共振周波数をシフトさせる。望ましい周波数に対して共振周波数をモニタすることで、共振型走査組立体の周波数を入力信号にロックするために使用可能な誤差信号が提供される。
請求項（抜粋）：
マイクロ電気機械スキャナであって、
少なくとも基板の一部を含む密閉本体部と、
密閉本体部の内部で基板に支持されて周期運動のために基板と結合される振動本体部と、
密閉本体部内で入力信号に応答する分圧を有する選択されたガスと、
振動本体部及び基板の間に結合され、密閉本体部内のガス圧力に応答する物理的パラメータを有する第一のセクションを含む連結アームにして、物理的パラメータの関数である振動本体部の振動の共振周波数を画定するように構成された連結アームと、
を備えるマイクロ電気機械スキャナ。
IPC (3件)：
G02B26/10
, G02B27/02
, H04N5/74
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 B
, G02B26/10 C
, G02B27/02 Z
, H04N5/74 H
2H045AB13
, 2H045AB16
, 2H045AB38
, 2H045AB54
, 2H045BA13
, 5C058AA18
, 5C058BA17
, 5C058EA04
, 5C058EA05
, 5C058EA11
