特許
J-GLOBAL ID：200903061538756126
微小変位素子及びその製造方法並びにそれを用いた情報処理装置及びトンネル電流検出装置
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-195002
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018707
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 基板の厚みによらない精度を保ちつつ、加工精度を高めることの可能な微小変位素子を提供する。【構成】 基板上に、少なくとも圧電体薄膜及び該圧電体薄膜を圧電逆効果により変位させるための電極を有する微小変位素子であって、該微小変位素子の上面自由端部に情報入出力用プローブを設けた微小変位素子において、該基板がZ軸(プローブの垂直方向)に垂直な面を主面とする単結晶水晶基板であることを特徴とする微小変位素子。
請求項（抜粋）：
基板上に、少なくとも圧電体薄膜及び該圧電体薄膜を圧電逆効果により変位させるための電極を有する微小変位素子であって、該微小変位素子の上面自由端部に情報入出力用プローブを設けた微小変位素子において、該基板がZ軸(プローブの垂直方向)に垂直な面を主面とする単結晶水晶基板であることを特徴とする微小変位素子。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01L 41/09
