特許

J-GLOBAL ID：200903061541045133

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 浅井 淳
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-292246
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120471
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、入射光を受光部に導く導光路を、絶縁性を有しかつ高反射率を有する材料で形成することにより、集光効率を高めて固体撮像素子の感度向上を図る。【構成】 基板11に形成した各受光部12上に透光性の絶縁膜13を形成し、その上面に酸化マグネシウム膜14を形成して、各受光部12上の酸化マグネシウム膜14に、入射光線81を当該受光部12に導く導光路15を形成したものである。あるいは、基板11に形成した各受光部12上に絶縁膜(図示せず)を形成し、各受光部12上の絶縁膜に、入射光線81を当該受光部12に導く導光路(図示せず)を形成して、その導光路の表面に酸化マグネシウム膜を形成したものである。

請求項（抜粋）：

受光部の上方に、入射光線を当該受光部に導く導光路を設けた固体撮像素子であって、少なくとも前記導光路の表面を酸化マグネシウムで形成したことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-154283
  
• 特開昭50-068293
  
• 特開昭50-096198
  
• 特開昭50-110298