特許
J-GLOBAL ID：200903061542544567
研磨用ウエハ保持部材及びそのウエハ保持部材の研磨機定盤への脱着方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-072105
公開番号（公開出願番号）：特開平8-267668
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月15日
要約：
【要約】【目的】 研磨用ウエハ保持部材の交換時において、定盤および研磨用ウエハ保持部材の接着剤層を冷却するだけで、容易に定盤面から剥離することができる研磨用ウエハ保持部材とその研磨用ウエハ保持部材の定盤からの脱着方法を提供すること。【構成】 研磨用ウエハ保持部材は、ウエハを表面に取り外し可能に吸着させ得る発泡層2と、該発泡層2を研磨機の定盤7上に取り付けるための感圧接着剤層3と、該感圧接着剤層3に離型可能に貼り付けられた離型シート4と、を有する。該感圧接着剤層3を形成する接着剤組成物に含有されるポリマーは、15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を有する。
請求項（抜粋）：
ウエハを表面に取り外し可能に吸着させ得る発泡層と、該発泡層を研磨機の定盤上に取り付けるための感圧接着剤層と、該感圧接着剤層に離型可能に貼り付けられた離型シートと、を有する研磨用ウエハ保持部材において、該感圧接着剤層を形成する接着剤組成物に含有されるポリマーが、15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を有することを特徴とする研磨用ウエハ保持部材。
IPC (4件)：
B32B 27/00
, B24B 37/04
, B32B 5/18
, H01L 21/304 321
B32B 27/00 L
, B24B 37/04 E
, B32B 5/18
, H01L 21/304 321 H
