特許
J-GLOBAL ID:200903061547536821

音叉型水晶片の電極形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-248989
公開番号(公開出願番号):特開平9-093068
出願日: 1995年09月27日
公開日(公表日): 1997年04月04日
要約:
【要約】【課題】音叉型水晶片脚部の弾性歪みが比較的大きくなる部分で、側面電極の面積減少を防止し、電気的特性の良好な音叉型振動子を得ることが可能な電極形成方法を提供する。【解決手段】 第1の蒸着マスクのマスクブリッジ部28は音叉型水晶片3基部の位置にあり、第2の蒸着マスクの窓部は第1の蒸着マスクのマスクブリッジ部の位置にある。
請求項(抜粋):
音叉型水晶片の第1の脚の主面電極と第2の脚の側面電極とを電気的に接続して一方の電極端子になり、第1の脚の側面電極と第2の脚の主面電極とを電気的に接続して他方の電極端子となるように蒸着マスクを用いる蒸着処理により音叉型水晶片の電極を形成する方法は、蒸着マスクは第1の蒸着マスクと第2の蒸着マスクからなり、第1の蒸着マスクのマスクブリッジ部は音叉型水晶片基部の位置にあり、第2の蒸着マスクの窓部は第1の蒸着マスクのマスクブリッジ部の位置にあることを特徴とする音叉型水晶片の電極形成方法。
IPC (3件):
H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215
FI (3件):
H03H 3/02 D ,  H03H 9/19 C ,  H03H 9/215

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