特許
J-GLOBAL ID：200903061551586353
静電容量式加速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-009633
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206457
出願日： 1997年01月22日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 検出回路が比較的簡単でサーボ制御しなくても検出精度がよいセンサ構造を提供する。【解決手段】 基板表面に固定された両持ち梁102a,102b;102c,102dと、両持ち梁によって基板に対して空隙を持って支持され基板表面と平行な方向に変位可能な可動電極101と、可動電極に対向して基板に設けられた固定電極104,105と、可動電極の側方に位置し基板表面から突出して設けられたサイド電極106〜111とを備える。可動電極101と固定電極104,105との対向面積の変化を静電容量の変化として検出する。両持ち梁の半分の長さL2と、可動電極が両持ち梁に固定されている長さL1の比L2/L1を0.8〜2.2とする。
請求項（抜粋）：
基板表面に固定された両持ち梁と、前記両持ち梁によって前記基板に対して空隙を持って支持され前記基板表面と平行な方向に変位可能な可動電極と、前記可動電極に対向して前記基板に設けられた固定電極と、前記可動電極の側方に位置し前記基板表面から突出して設けられたサイド電極とを備え、前記可動電極と前記固定電極との対向面積の変化を静電容量の変化として検出することを特徴とする静電容量式加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
