特許

J-GLOBAL ID：200903061557444518

架橋硬化性樹脂組成物積層体

発明者： 串 憲治 ,  小田 雅春 ,  藤原 匡之 ,  大谷 博行
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020400
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236027
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 支持フィルムとしての機能を損なわずにレジストの形成精度を高めることのできる解像度の高い架橋硬化性樹脂組成物積層体。【構成】 少なくとも硬化性組成物層12の一方の面に光透過性の支持フィルム14が形成された架橋硬化性樹脂組成物積層体10であって、支持フィルムのヤング率が1600Kg/mm2以上、光透過率が75%以上、破断強度が50Kg/mm2以上である。【効果】 支持フィルムの膜厚を薄くすることができることから透過する光の広がりを抑え、解像度を高く硬化性組成物層を露光することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも硬化性組成物層の一方の面に光透過性の支持フィルムが形成された架橋硬化性樹脂組成物積層体であって、支持フィルムのヤング率が1600Kg/mm2以上、光透過率が75%以上、破断強度が50Kg/mm2以上であることを特徴とする架橋硬化性樹脂組成物積層体。

IPC (6件)：

G03F 7/004 512 ,  B32B 7/02 101 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 27/08 ,  G03F 7/09 501 ,  H05K 3/00