特許
J-GLOBAL ID：200903061563766748
シャドウマスクの透過率の算出方法およびシャドウマスク設計方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181443
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015015
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 エッチング加工により作製される平板状のシヤドウマスクの各部の斜め透過率を、近似的に算出する方法を提供する。【解決手段】 エッチング加工により作製される平板状のシヤドウマスク設計時に、適当な設計値、加工条件等を求めるために、所定の形状の貫通孔部を有する平板状のシヤドウマスクの各部の光透過率を、近似的に算出する方法であって、各貫通孔部について、表孔、貫通孔、裏孔、それぞれの輪郭を、所定の角度でシャドウマスクに入射する光の進行方向に垂直である受光部面に平行な面に投影し、投影された後の表孔、貫通孔、裏孔の3形状が重なった領域を、貫通孔部1つ分の光透過分とし、所定形状の受光部面に投影された、光透過分の総面積を求め、受光部面の面積に対する、前記光透過分の総面積の比をもって、前記所定の角度でシャドウマスクに入射する光に対する透過率とする。
請求項（抜粋）：
エッチング加工により作製される平板状のシャドウマスク設計時に、適当な設計値、加工条件等を求めるために、所定の形状の貫通孔部を有する平板状のシャドウマスクの各部の光透過率を、近似的に算出する方法であって、各貫通孔部について、表孔、貫通孔、裏孔、それぞれの輪郭を、所定の角度でシャドウマスクに入射する光の進行方向に垂直である受光部面に平行な面に投影し、投影された後の表孔、貫通孔、裏孔の3形状が重なった領域を、貫通孔部1つ分の光透過分とし、所定形状の受光部面に投影された、光透過分の総面積を求め、受光部面の面積に対する、前記光透過分の総面積の比をもって、前記所定の角度でシャドウマスクに入射する光に対する透過率とすることを特徴とするシャドウマスクの透過率の算出方法。
Fターム (1件)：
前のページに戻る
