特許

J-GLOBAL ID：200903061567810644

デバイス製造装置

発明者： 野元 誠
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320151
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143986
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 半導体露光装置などのデバイス製造装置における冷却水配管系の状態(フィルタのつまり具合や冷却水配管内の異物の付着具合など)を定量的に把握可能にする。【解決手段】 装置の温調エアを冷却する冷却水配管系を有するデバイス製造装置において、前記冷却水配管系の状態を検知するために該冷却水配管系における冷却水の圧力および流速のうち少なくとも一方を計測する手段を設ける。

請求項（抜粋）：

装置の温調エアを冷却する冷却水配管系を有するデバイス製造装置において、前記冷却水配管系の状態を検知するために該冷却水配管系における冷却水の圧力、流速および流量のうち少なくとも一つを計測する手段を設けたことを特徴とするデバイス製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 H

Fターム (6件)：

5F046AA22 ,  5F046DA04 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5F046DB03 ,  5F046DB14