特許

J-GLOBAL ID：200903061568393044

ガス濃度測定装置

発明者： 仲瀬 重樹 ,  中村 重幸 ,  嶋野 弘己
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-269164
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128956
出願日： 1994年11月01日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】 簡易な構成で、精度良く雰囲気中の特定のガス種の濃度を測定することのできるガス濃度測定装置を提供する。【構成】 濃度測定対象のガス種で吸収のある波長(=λ1 ,...)の成分と測定対象気体に含まれるガス種によっては実質的に吸収のない波長(=λ0 )の成分とを含む光が光源100から出力され、測定対象気体が収納された収納器200に入射される。収納器200を介した波長=λ0 の光の強度は光検出部300で検出され、この検出結果に基づいて帰還部400から駆動部500を介して光源100の出力光強度が一定に制御される。光源100の出力光強度が一定に制御された後、波長=λ1 ,...の光の強度が光検出部500で検出され、この測定結果に基づいて特定ガス種の濃度が測定される。

請求項（抜粋）：

外部からの指示に応じた強度の所定の波長範囲の成分を有する光を発生する光源と、一定の圧力下で気体を収納するとともに、前記光源から出力された光を第1の端面から内部に入力し、内部雰囲気を通過後に第2の端面の複数である第1の数の領域から出力する収納器と、前記収納器の前記第2の端面の第1の領域から出力された光を入力し、設定された第1の波長値と略同一の値の波長の光の強度を検出する第1の光検出系を備える第1の光検出部と、前記第1の光検出部から通知された検出光強度値と基準値とを比較し、前記第1の検出部から通知された検出光強度値と基準値とが同一となるように前記光源に出力光の強度を指示する帰還部と、前記収納器の前記第2の端面の前記第1の領域を除く各領域ごとに配設された、夫々の領域から出力された光から前記夫々の領域ごとに設定された波長値と略同一の波長を有する光を選択し、選択された波長の光の強度を検出する第1の数より1少ない数の光検出系を備える第2の光検出部と、前記第2の光検出部から通知された各波長ごとの光強度値を収集し、前記収納器に収納された気体の測定対象のガス種の濃度を求める処理部と、を備えることを特徴とするガス濃度測定装置。