特許

J-GLOBAL ID：200903061581034398

電子ビーム照射装置、電子ビーム照射方法

発明者： 金高 明 ,  関根 真人 ,  岩井 俊道
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-174525
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349997
出願日： 2000年06月09日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 精度よく電子ビームを照射することができる電子ビーム照射装置および電子ビーム照射方法を提供する。【解決手段】 電子ビームを発生させる電子銃12と、電子ビームを調整する電子光学系18と、部材30が載置されるZ方向ステージ20と、実質的に前記電子ビームの照射方向に、Z方向ステージ20を移動させるステージ制御部34とを備えることを特徴とする電子ビーム照射装置100。電子光学系18が格納される筐体10と部材30との距離と、電子光学系18を校正した状態における筐体10とターゲットマーク部材50との距離とが、実質的に等しくなるようにZ方向ステージ20を移動させるのが好ましい。

請求項（抜粋）：

部材に電子ビームを照射する電子ビーム照射装置であって、前記電子ビームを発生させる電子銃と、前記電子ビームを調整する電子光学系と、前記部材が載置されるステージと、実質的に前記電子ビームの照射方向に、前記ステージを移動させるステージ制御部とを備えることを特徴とする電子ビーム照射装置。

IPC (4件)：

G21K 5/04 ,  G01B 15/00 ,  G21K 5/10 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G21K 5/04 M ,  G21K 5/04 C ,  G01B 15/00 B ,  G21K 5/10 Z ,  H01L 21/66 J

Fターム (23件)：

2F067AA21 ,  2F067BB21 ,  2F067CC17 ,  2F067EE04 ,  2F067FF11 ,  2F067FF16 ,  2F067HH06 ,  2F067HH13 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ02 ,  2F067TT01 ,  2F067UU32 ,  2F067UU33 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB08 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07