特許
J-GLOBAL ID：200903061585427637
半導体単結晶育成装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200441
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033583
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 連続チャージ法と二重るつぼ法とを組み合わせ、外るつぼに載置した保持体を介して内側隔壁を保持する半導体単結晶育成装置において、原料供給管から融液に供給する原料多結晶が前記保持体に当たった場合、その原料多結晶がるつぼ外に飛散しないようにする。【構成】 内側隔壁を保持する内輪9bと、外るつぼに載置する外輪とを連結する保持棒9cの断面を、外るつぼの回転方向に対して上り斜面となる二つの傾斜面9d,9eを持つ三角形とする。原料供給管10から落下して傾斜面9dに当たった原料多結晶14aは、外るつぼの回転方向と逆の方向に、かつ下向きに跳ね返り、融液に落下する。また落下中の原料多結晶のうち、傾斜面9eに当たった原料多結晶14bは、前記傾斜面9eに押されて外るつぼの回転方向側かつ下向きに跳ね、融液に落下する。従って、原料多結晶がるつぼ外に飛散することはほとんどない。
請求項（抜粋）：
原料多結晶を溶解して融液とする外るつぼと、前記融液に原料多結晶を供給する原料供給管と、原料供給管より内側の融液に浸漬する内側隔壁と、内側隔壁内の融液から単結晶を引き上げる結晶引き上げ機構とを備えた単結晶育成装置において、前記内側隔壁の上端を係止する内輪と、外るつぼの上端に載置する外輪と、前記内輪と外輪とを連結する複数個の保持棒とによって内側隔壁保持体を構成したことを特徴とする半導体単結晶育成装置。
IPC (4件)：
C30B 15/02
, C30B 15/10
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
