特許

J-GLOBAL ID：200903061586486548

圧電素子のマイクロクラックの非破壊的検査法

発明者： 千田 幸雄 ,  荒井 邦晴 ,  相原 仁志
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社 ,  化成オプトニクス株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-164861
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003305
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】 圧電セラミックのマイクロクラックの有無を、迅速かつ高精度に、自動判定する圧電素子のマイクロクラックの非破壊的検査法を提供する。【構成】 圧電素子のインピーダンスの周波数特性及び/又は電圧と電流との位相差(位相角)の周波数特性を測定し、この周波数特性を示す曲線パターンを基準となる素子の曲線パターンと比較し、両曲線パターンが異なる場合、当該圧電素子にマイクロクラックが存在すると判定する。【効果】 自動判定が可能であるため、短時間で判定することができ、大量処理化が可能な上に、目視による判定ではないため、検査精度が著しく高い。

請求項（抜粋）：

交番的な電圧の印加に伴って振動する圧電素子の共振周波数ないし反共振周波数近傍の周波数帯において、一定の幅で段階的に周波数を変化させた一定電圧を、被検圧電素子とマイクロクラックのない基準圧電素子とのそれぞれに印加し、各圧電素子のインピーダンスの周波数特性及び/又は電圧と電流との位相差(位相角)の周波数特性を測定し、当該周波数特性を示す曲線パターンを得、被検圧電素子の曲線パターンと基準圧電素子の曲線パターンとを比較し、両曲線パターンが異なる場合に、該被検圧電素子内部にマイクロクラックが存在すると判定することを特徴とする圧電素子のマイクロクラックの非破壊的検査法。

IPC (3件)：

G01N 27/02 ,  G01H 13/00 ,  G01N 27/20